薄膜厚度测量仪的工作原理

薄膜厚度测量仪主要基于光学、机械或电学原理，来实现对各种材料表面薄膜厚度的精准测量。常见的测量方法包括：

1 光学测量

光学测量方法多采用干涉法或反射法。干涉法利用光的波动性质，当光波在薄膜的不同界面之间反射时，会形成干涉条纹，通过分析条纹的变化，可以算出薄膜的厚度。反射法则是基于光的反射特性，当光照射到具有不同折射率的薄膜时，会产生反射，通过测量反射光强度的变化，可以推断出薄膜的厚度。

2 机械测量

机械测量方法通常使用探针直接接触到薄膜表面，利用探针的位移量来计算薄膜的厚度。这种方法在很多应用中非常精准，但对薄膜的纹理和结构要求较高，部分情况下可能会损伤膜层。

3 电学测量

电学测量方法则通过电容或电阻的变化来获取薄膜的厚度。这类技术主要用于极薄的膜层，如纳米级别的薄膜，能够提供足够的灵敏度和准确性。